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滲碳?xì)夥罩械膮⒈葴y(cè)量
(原文:德國(guó)MESA electronic GmbH; 翻譯整理:深圳市倍拓科技有限公司)
滲碳工藝控制中zui重要的參數(shù)就是氣氛的溫度和碳勢(shì)。溫度通??捎蔁犭娕迹囟葌鞲衅鳎y(cè)得。而對(duì)于碳勢(shì)的控制,則可以采用現(xiàn)場(chǎng)氧探頭和Lambda探頭(L-sonde)通過(guò)對(duì)爐內(nèi)氣氛的氧分壓進(jìn)行測(cè)量來(lái)完成。但是無(wú)論是熱電偶還是氧探頭在殘氧測(cè)量中其精度都會(huì)慢慢降低。因此,要想實(shí)現(xiàn)控制,則必須通過(guò)參比測(cè)量來(lái)調(diào)節(jié)溫度和碳勢(shì)。本文將分別就熱電偶和氧探頭以及Lambda探頭(L-sonde)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確的原因作出分析和解釋,同時(shí)就如何采用參比測(cè)量校正測(cè)量結(jié)果進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外,參比測(cè)量中需要注意什么,參比測(cè)量提供什么信息,以及如何通過(guò)氣體分析儀來(lái)對(duì)爐內(nèi)氣氛進(jìn)行分析,都將一一探討。*部分著重介紹如何將氣體分析作為碳勢(shì)參比測(cè)量的手段。
滲碳工藝控制中zui重要的參數(shù)就是氣氛的溫度和碳勢(shì)。為了得到的可重復(fù)的結(jié)果,這些參數(shù)必須盡可能的。由于老化或者其它可能導(dǎo)致誤差的原因,氧探頭和熱電偶所給出的測(cè)量數(shù)據(jù)有可能不準(zhǔn)確甚至是錯(cuò)誤的。因此,為了校正這些測(cè)量結(jié)果,必須采用參比測(cè)量。否則,控制所需的結(jié)果不能被認(rèn)可接受。溫度通??捎蔁犭娕紲y(cè)得。而對(duì)于碳勢(shì)的控制,則可以采用現(xiàn)場(chǎng)氧探頭和Lambda探頭(L-sonde)通過(guò)對(duì)爐內(nèi)氣氛的氧分壓進(jìn)行測(cè)量來(lái)完成。下文將介紹傳感器測(cè)量誤差的原因。
一, 使用熱電偶進(jìn)行溫度測(cè)量時(shí)出現(xiàn)誤差的原因。
使用熱電偶進(jìn)行溫度測(cè)量是現(xiàn)有工藝中的常用做法。必須再次強(qiáng)調(diào)熱電偶僅測(cè)量溫度差異。一般可以采用管夾溫度作為參比。由于接頭暴露于不斷變化的環(huán)境溫度中,管夾溫度的變化也會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差。避免這種誤差有幾個(gè)不同的方法。zui常用的方法是記錄結(jié)溫(接合點(diǎn)溫度)也稱為接合點(diǎn)溫度補(bǔ)償,或者使用接合點(diǎn)恒溫器來(lái)保持接合點(diǎn)的溫度為一個(gè)恒定值。
熱電偶的溫度一致性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性與其材質(zhì)時(shí)效有非常重要的關(guān)系。由于材質(zhì)老化,熱電偶的熱電特性會(huì)出現(xiàn)變化,因此熱電電壓K也會(huì)變化。這是指的熱電偶漂移。熱電偶的漂移主要取決于以下:
除了熱電偶老化以外,還有很多其它因素比如熱力,機(jī)械力,大氣以及電力影響到溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性。K型熱電偶常用于溫度控制。在滲碳?xì)夥罩惺褂眠@種熱電偶經(jīng)常會(huì)導(dǎo)致如下錯(cuò)誤。
二, 熱電偶的定期檢測(cè):
ISO9000質(zhì)量管理標(biāo)準(zhǔn)要求所有測(cè)量?jī)x器包括內(nèi)置溫度傳感器的系統(tǒng)都必須具有可追溯性。意味著測(cè)量數(shù)值必須達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)定的熱電偶必須配備有效的校驗(yàn)證書(shū)方可實(shí)現(xiàn)追溯性。新的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)也要求對(duì)熱電偶進(jìn)行定期檢驗(yàn)。
在恒溫池或者管式爐內(nèi)都可進(jìn)行溫度傳感器的檢測(cè)。應(yīng)用范圍內(nèi)至少要檢測(cè)三個(gè)檢查點(diǎn)。
實(shí)際操作中,熱電偶的現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)已經(jīng)建立,即成為現(xiàn)場(chǎng)系統(tǒng)。過(guò)程可控?zé)犭娕季邆湟粋€(gè)測(cè)試通道穿過(guò)連接座外部的孔。通過(guò)具有有效校驗(yàn)證書(shū)的鉑銠鉑絕緣的熱電偶來(lái)完成處理工藝中的溫度檢測(cè)。要檢測(cè)的溫度傳感器未從測(cè)量線路中分離。因此可用于整個(gè)測(cè)量回路。如果測(cè)量差異不在公差范圍內(nèi),標(biāo)定測(cè)量的漂移可以通過(guò)溫度調(diào)節(jié)器補(bǔ)償調(diào)節(jié)。在此情況下需要考慮到所有可能的誤差,比如線性化,補(bǔ)償線路,測(cè)量結(jié)溫,熱電偶和控制器的漂移。
三, 碳勢(shì)的確定
一般來(lái)說(shuō),碳勢(shì)可以直接確定,也可以間接確定。直接測(cè)量法不適用于碳勢(shì)的連續(xù)測(cè)量,而控制則建立在此種測(cè)量的基礎(chǔ)上。不管怎樣,直接測(cè)量法實(shí)在必要的情況下對(duì)間接測(cè)量的結(jié)果進(jìn)行檢查和測(cè)量。圖(一)顯示了滲碳?xì)夥罩写_定碳勢(shì)的幾種方法
連續(xù)測(cè)量對(duì)于過(guò)程控制是至關(guān)重要的。市場(chǎng)上現(xiàn)有的露點(diǎn)傳感器可用于水份分壓連續(xù)測(cè)定,但不足以在滲碳?xì)夥罩羞M(jìn)行測(cè)量。CO2的測(cè)量是通過(guò)紅外傳感器連續(xù)進(jìn)行的,這一測(cè)量常用于比較結(jié)果。與O2測(cè)量相比,CO2測(cè)量過(guò)程明顯緩慢。此外,由于零點(diǎn)漂移的作用,二氧化碳傳感器通常需要更高的維修要求。因此,通過(guò)氧探頭(O2探頭或者Lambda探頭)測(cè)量爐內(nèi)氣氛的氧分壓從而控制碳勢(shì)是一種更為先進(jìn)可靠的方法。當(dāng)然,其它方法可以用作測(cè)量結(jié)果的補(bǔ)償或者參考。
四, 氧探頭測(cè)量的不確定性
圖(二)氧探頭的不同類型:
a: 為一邊封閉的氧化鋯元件,被粘合或者焊接至氧化鋁陶瓷管。內(nèi)部是參比氣體,外部是爐內(nèi)氣氛,氧離子通過(guò)陶瓷游移;
b: 為氧化鋯球體;
c: 為連續(xù)的,封閉的,密實(shí)的氧化鋯管
O2探頭(常規(guī)氧探頭)的不同結(jié)構(gòu)【如圖(二)】及其優(yōu)缺點(diǎn)在第五部分有說(shuō)明。下面是幾個(gè)常見(jiàn)的導(dǎo)致O2探頭測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確的原因。
1) 氧探頭陶瓷中的氣孔和裂痕增加會(huì)導(dǎo)致參比氣體流速增加。因此,如上所述,探頭電壓有可能不是真實(shí)數(shù)值,除此之外,氧探頭熱電偶的溫度值也有可能出現(xiàn)不真實(shí)的情況。
2) 清洗劑殘留以及封膠會(huì)隨著探頭進(jìn)入爐內(nèi)。這些化學(xué)物質(zhì)在爐內(nèi)蒸發(fā)之后會(huì)沉淀在外部鉑電極。這會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確并且會(huì)縮短探頭的使用壽命。為了將這些清洗劑和封膠的殘留物從探頭元件上清除,必須對(duì)探頭進(jìn)行清洗。還有一個(gè)很重要的問(wèn)題是外電極被炭黑污染,尤其是當(dāng)處理過(guò)程被控制在接近炭黑極限的時(shí)候。而電極被煤煙炭黑熏染會(huì)導(dǎo)致虛假或者錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果。在這種情況下,只能用空氣對(duì)探頭進(jìn)行循環(huán)吹掃。注意!空氣吹掃的閥門必須安裝在探頭附近。如果使用長(zhǎng)管會(huì)在吹掃之后產(chǎn)生很長(zhǎng)的停留時(shí)間。另外,該閥必須關(guān)閉好,不應(yīng)堵塞。
3) 如果使用鉻鎳鋼作為保護(hù)管,那么可以在顯微鏡下檢測(cè)到,靠近氧化鋯頂端的鉻部件很快就在爐內(nèi)熔解消失。煤煙顆粒和氧氣吸附在氣孔表面。探頭表面的煙灰會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果,并使探頭的反應(yīng)時(shí)間以及吹掃之后的弛豫時(shí)間都被延長(zhǎng)。
因此,為了確保工藝品質(zhì),必須使用參比測(cè)量對(duì)氧探頭進(jìn)行定期檢測(cè)。
五, Lambda探頭(L-sonde,L-probe)測(cè)量的不確定性
采用Lambda探頭對(duì)爐內(nèi)氣氛進(jìn)行實(shí)際控制zui重要的因素是正確的結(jié)構(gòu)和安裝,同時(shí)也要考慮到碳勢(shì)的校正因素?;跉怏w取樣器的設(shè)計(jì),Lambda探頭不與爐內(nèi)高溫直接接觸。另外,Lambda探頭的陶瓷不受溫度變化的影響。相比之下,O2氧探頭很容易受到爐內(nèi)溫度變化的影響。這就是Lambda探頭具有比O2探頭更長(zhǎng)的使用壽命的根本原因。
圖(三): 使用Lambda探頭進(jìn)行測(cè)量的氣體取樣器構(gòu)造
要想得到的計(jì)算結(jié)果,控制Lambda探頭的陶瓷溫度是非常重要的。因此不同的干擾,比如氣體流速的改變,外部環(huán)境溫度的改變,或者氣體組分的改變都必須消除。MESA公司研發(fā)的新一代智能電源NTV44P【圖(四)】就于控制Lambda探頭的陶瓷溫度使其保持為一個(gè)恒定值。而且,該智能電源還可以當(dāng)作變送器,比如將L-probe信號(hào)轉(zhuǎn)換為O2-probe信號(hào)。如果Lambda探頭只被一個(gè)固定的電壓加熱,那么上述干擾會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果的不準(zhǔn)確,從而導(dǎo)致碳勢(shì)計(jì)算的誤差。
圖(四):智能加熱電源NTV44P
盡管Lambda探頭的使用壽命比O2探頭更長(zhǎng),但是其使用過(guò)程中也會(huì)發(fā)生泄漏。跟O2探頭一樣,清洗劑殘留以及封膠在爐內(nèi)蒸發(fā)會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn),并導(dǎo)致探頭壽命縮短。因此在碳勢(shì)控制中,必須通過(guò)結(jié)果比較或者參比測(cè)量來(lái)進(jìn)行檢測(cè)是非常重要的。
六, CO和CO2測(cè)量的參比測(cè)量
對(duì)于滲碳?xì)夥罩幸谎趸己投趸紳舛鹊臏y(cè)量,紅外吸收測(cè)量是非常有效的。電磁輻射的能量與其頻率成比例,與波長(zhǎng)間接比例。如果電磁輻射遇到分子微粒,根據(jù)輻射的能量,每個(gè)單一原子都可以分裂,或者引發(fā)分子振動(dòng)旋轉(zhuǎn)【如圖(五)】。在這個(gè)過(guò)程中,可以說(shuō)輻射能量在被吸收。
圖(五):電磁輻射對(duì)分子的影響
如果分子受到波長(zhǎng)在紅外線范圍內(nèi)的電磁輻射的碰撞,他們會(huì)活躍振蕩。分子的特性在于他們僅在特定頻率下振蕩。因此每個(gè)分子都有特定的振蕩范圍。換句話說(shuō),分子只在特定能量下振蕩。因此,如果一個(gè)分子(比如二氧化碳)遇到電磁輻射,其波長(zhǎng)*符合分子的振蕩能量,那么輻射就會(huì)被分子吸收,分子開(kāi)始振蕩。分子的這一特性是紅外吸收測(cè)量的原理。
七, 非分光紅外光譜(NDIR)
圖(六)顯示了雙光束技術(shù)NDIR傳感器的原理設(shè)計(jì)。NDIR的意思是非分光紅外光譜。氣體通過(guò)一個(gè)測(cè)量室導(dǎo)電。一個(gè)紅外(IR)光源發(fā)出寬譜紅外光穿過(guò)氣體。非分光的意思是探測(cè)器僅測(cè)量特定波長(zhǎng)的輻射。
圖(六):NDIR雙光束波長(zhǎng)傳感器的原理結(jié)構(gòu)
探測(cè)器僅檢測(cè)被測(cè)組分吸收的光譜范圍。如果被分析的氣體中有測(cè)量組份,比沒(méi)有組分的情況要吸收更少的輻射。如果被分析氣體中的輻射被其它光譜范圍的氣體減弱的話,這不會(huì)導(dǎo)致誤差,因?yàn)闇y(cè)量檢測(cè)器不會(huì)檢測(cè)到輻射。
參比檢測(cè)器僅僅測(cè)量特定波長(zhǎng)的輻射,該輻射不會(huì)被待測(cè)氣氛的組分所吸收。換句話說(shuō),它測(cè)量的是紅外光源的基本強(qiáng)度。由于兩個(gè)檢測(cè)器的測(cè)量信號(hào)存在差異,可以確定氣體濃度。雙光束測(cè)量法的主要優(yōu)勢(shì)就在于紅外光源的時(shí)效和光學(xué)元件的污染都可以得到補(bǔ)償。相比采用單光束測(cè)量法的價(jià)格便宜的傳感器,該傳感器的精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性可以得到顯著的提升。
由于紅外吸收測(cè)量屬于濃度測(cè)量,壓力和溫度變化都會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。10mbar的氣壓變化就相當(dāng)于被測(cè)濃度值1%的明顯變化,1°C的測(cè)量室溫度變化就相當(dāng)于0.3%的被測(cè)濃度值變化。因此,只能所使用的傳感器必須帶有壓力和溫度補(bǔ)償功能。
八, 使用MESA新一代氣體分析儀MGas 5進(jìn)行碳勢(shì)參比測(cè)量。
MGas 5 【如圖(七)】有便攜式和嵌入式安裝兩種設(shè)計(jì)。它于測(cè)量CO,CO2,CH4和H2。根據(jù)硬件配置(安裝的氣體傳感器種類)不同,可以測(cè)量多種不同的氣體組合。除了上述氣體的直接測(cè)量以外,它還可以計(jì)算碳勢(shì)和露點(diǎn)。
圖(七):德國(guó)MESA新一代氣體分析儀MGas 5.X
MGas 5可以執(zhí)行兩種不同的方法決定碳勢(shì)。*種是根據(jù)CO和CO2的測(cè)量以及工藝溫度。工藝溫度可以通過(guò)熱電偶測(cè)得或者直接輸入固定值。第二種方法是根據(jù)O2和CO的測(cè)量以及工藝溫度。如果采用第二種方法,則需要將MGas 5與氧探頭或者Lambda探頭相連接。
該儀器配備有模擬和數(shù)字的輸入輸出,某些可以由用戶自行設(shè)定。帶有USB接口的16Mb內(nèi)存可以用來(lái)存儲(chǔ)數(shù)據(jù),電腦軟件用于數(shù)據(jù)填寫和數(shù)據(jù)可視化【圖(八)】。另外可以選擇性配置MOD-bus,以太網(wǎng)(Ethernet)或者總線(profibus),以及用于連接氧探頭或者lambda探頭的端口。而且,可以設(shè)定自動(dòng)標(biāo)定的時(shí)間或者開(kāi)啟手動(dòng)標(biāo)定。
MGas G5還有一個(gè)值得關(guān)注的功能,就是其集成軟件可以激活氣體多路器MUX。【如圖(九)】
圖(九):氣體多路器MUX
通過(guò)氣體多路轉(zhuǎn)換器,用戶只需一臺(tái)氣體分析儀就可以在線分析至少六個(gè)取樣點(diǎn)取出的氣體。主要的氣流圖可參見(jiàn)圖(十)。所有的氣體輸入都是固定流速,與待分析的測(cè)量點(diǎn)無(wú)關(guān)。由此可以避免轉(zhuǎn)換氣體輸入之后的長(zhǎng)時(shí)間停滯狀態(tài)。標(biāo)定氣體可以通過(guò)MGas上的各個(gè)標(biāo)定輸入點(diǎn)通入,而不用管測(cè)量周期。通過(guò)MGas 5所集成的用于激活氣體多路轉(zhuǎn)換器的軟件,操作人員就可以非常簡(jiǎn)便的控制所有相關(guān)參數(shù)(比如轉(zhuǎn)換時(shí)間,不同通道的測(cè)量時(shí)長(zhǎng),自動(dòng)標(biāo)定循環(huán)時(shí)間等等)。
圖(十):氣體多路轉(zhuǎn)換器MUX的原理結(jié)構(gòu)
九, 氣體取樣,標(biāo)定,以及CO2量程選擇
要想使用氣體分析儀實(shí)現(xiàn)測(cè)量,我們需要特別強(qiáng)調(diào)以下三點(diǎn):
正確的取樣:要對(duì)爐內(nèi)氣氛進(jìn)行正確測(cè)量,其中zui重要的一點(diǎn)就是氣體取樣器的結(jié)構(gòu)(圖十一)。該結(jié)構(gòu)也可以同樣用于定碳儀的箔片取樣。其設(shè)計(jì)與圖(三)中的氣體取樣器類似,即采用內(nèi)陶瓷管將爐內(nèi)氣體導(dǎo)引至爐膛外。在取樣器的保護(hù)鋼管上作有標(biāo)記,標(biāo)注內(nèi)部陶瓷管的末端位置。多余鋼管部分用于氣氛冷卻。
圖(十一):氣體取樣器
通過(guò)這種設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn):
由于氣體取樣器的鋼管部分不直接接觸熱反應(yīng)氣體,溫度因冷卻而降低,相應(yīng)的就可以避免炭黑污染堵塞取樣管。
由于一直到冷卻部分,氣體都有充分的熱絕緣,所以可以避免其它平衡狀態(tài)下的逆反應(yīng)
由于陶瓷管寬度減小,氣流速度相應(yīng)更快。
氣體的熱絕緣到爐膛外壁為止。
氣體在到達(dá)爐膛外壁的時(shí)候流速明顯變慢,這是由于陶瓷管寬度變大的原因。
當(dāng)氣體離開(kāi)熱絕緣部分之后就進(jìn)入冷卻部分,氣體組分會(huì)迅速冷卻至冷凝。因此避免其它平衡狀態(tài)下的逆反應(yīng)。氣體的其它平衡狀態(tài)可以影響氣體組分的測(cè)量及碳勢(shì)計(jì)算。
2,標(biāo)定:
在本文開(kāi)頭曾經(jīng)說(shuō)過(guò),所有傳感器的特性就是隨著使用時(shí)間的增加而開(kāi)始出現(xiàn)漂移。因此,定期對(duì)傳感器進(jìn)行標(biāo)定是非常重要的,否則就無(wú)法得到可靠的測(cè)量結(jié)果。傳感器的中性點(diǎn)通常利用氮?dú)膺M(jìn)行標(biāo)定。對(duì)于較長(zhǎng)時(shí)間的在線測(cè)量,我們建議定期校準(zhǔn)中性點(diǎn)。接下來(lái)就要利用已知組分的測(cè)試氣體(樣氣)來(lái)進(jìn)行標(biāo)定。我們建議采用與爐內(nèi)氣體成分相同或者類似的組分,比如,如果是甲烷分離出來(lái)的吸熱式氣體作為載氣,那么測(cè)試氣體(樣氣)的組分應(yīng)該是20% CO,0.5% CO2,40% H2,2% CH4 ,剩余部分為 N2。測(cè)量精度是由氧氣分析質(zhì)量確定的,通常會(huì)有大約氣體水平1%的誤差。
3,二氧化碳量程的選定
正確選擇二氧化碳量程在相當(dāng)大的程度上影響到碳勢(shì)計(jì)算的性??紤]到碳勢(shì)、溫度和CO2三者之間的關(guān)系,很明顯在普通滲碳?xì)夥罩?,量程?/span>0...0.5%CO2(體積百分比)就夠了。由于測(cè)量數(shù)值有1%的差異,因此可以達(dá)到0.005%CO2的精度。在一氧化碳占20%的氣氛中,如果溫度為920°C,碳勢(shì)為1.10%C,則對(duì)應(yīng)碳勢(shì)精度為0.05%C。如果所使用的二氧化碳傳感器量程大大超出此范圍,那么測(cè)量以及碳勢(shì)計(jì)算是非常不可靠的,根本不再適用于碳勢(shì)的參比測(cè)量。如果想利用氣體分析儀測(cè)量具有更高二氧化碳值的氣氛中(比如硬化處理),那么建議使用帶有兩個(gè)二氧化碳傳感器的氣體分析儀。MGas5就有這種配置,可以自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程。它能夠根據(jù)測(cè)量值來(lái)決定應(yīng)該選用哪個(gè)傳感器。如果測(cè)量值是在兩個(gè)傳感器的轉(zhuǎn)換范圍內(nèi),那么測(cè)量可以通過(guò)兩個(gè)傳感器進(jìn)行,結(jié)果也可以相應(yīng)固定,從而提升測(cè)量精度。
十, 通過(guò)氣體分析得到的其它結(jié)論
在實(shí)際應(yīng)用中,氣體分析不僅僅用于碳勢(shì)的參比測(cè)量。它同樣可以提供有關(guān)爐子和爐內(nèi)氣氛的更多信息。因此CH4的測(cè)量結(jié)果可以表現(xiàn)出爐內(nèi)氣氛是否處于平衡狀態(tài)。如果數(shù)值過(guò)高,則表示氣體裂解不好。CO和H2的關(guān)系表示水份浸入爐內(nèi)。這些示例表明氣體分析對(duì)于了解滲碳?xì)夥粘霈F(xiàn)問(wèn)題的原因起到非常重要的決定因素。沒(méi)有氣體分析,就不可能快速發(fā)現(xiàn)并解決問(wèn)題。
對(duì)于吸熱式氣體發(fā)生機(jī)的檢查,氣體分析同樣也是非常有幫助的。通過(guò)CO和CH4的測(cè)量,我們就可以了解反應(yīng)罐和催化劑狀態(tài)的相關(guān)信息。如果反應(yīng)罐和催化劑狀態(tài)良好,那么CH4的數(shù)值就低于1%,CO的數(shù)值與測(cè)量值大概相當(dāng)(對(duì)于甲烷裂解的吸熱式氣氛,CO大概是20%,對(duì)于丙烷裂解的吸熱式氣氛,CO大概是23.8%)。如果CH4的數(shù)值高于1%,CO的數(shù)值低于期望值,那么就表示催化劑出現(xiàn)炭黑,或者反應(yīng)罐泄漏。在這種狀態(tài)下,氣體分析是解決問(wèn)題的重要工具。
十一, 總結(jié)
參比測(cè)量對(duì)于品質(zhì)管理而言是*的。在滲碳工藝中,溫度和碳勢(shì)是非常重要的參數(shù),必須加以控制,并且必須定期加以檢查。在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)溫度的參比測(cè)量主要通過(guò)熱電偶現(xiàn)場(chǎng)檢查為主。對(duì)于碳勢(shì)而言,參比測(cè)量有好幾種方法。本文介紹的方法,即使用NDIR傳感器進(jìn)行的氣體分析,是解決問(wèn)題的重要工具。
注: 原文作者:D?o Mikulovi?, Dragan ?ivanovi?, Florian Ehmeier (MESA ELECTRONIC GMBH)由深圳市倍拓科技有限公司翻譯整理。如需引用,請(qǐng)注明出處